1-ядро Дефиниция и стойност на процеса

The полуавтоматична машина за ламиниране на вафли е прецизно оборудване за свързване, проектирано специално за полупроводникови пластини. То извършва основно прецизното свързване, фиксиране и рязане на пластини и режещи/защитни филми, осигурявайки стабилна опора за последващо изтъняване, нарязване и вземане на чипове. Основната технологична стойност се отразява в три аспекта:

Защита на повърхността: изолиране на драскотини, замърсяване и окисляване, защита на предната/задната структура на пластината;

Фиксиране на процеса: здраво закрепете пластината към металната рамка, за да предотвратите разпръскване и изместване на стружките по време на рязане;

Адаптивно събиране: Поддържа залепване на UV антиадхезивно фолио, с намалена адхезия след UV облъчване, което улеснява събирането на стружки без повреди.

В сравнение с чисто ръчното нанасяне на фолио, то елиминира дефекти като мехурчета, бръчки и несъответствие; В сравнение с напълно автоматичните машини за залепване на фолио, то има по-малък размер, по-ниска инвестиция, гъвкаво превключване и е подходящо за множество разновидности и производство на малки партиди.

2-ключови компонентни модули

Работна маса за вакуумна адсорбция: Вакуумът фиксира пластините, за да се гарантира, че няма да се изместят по време на свързването, като поддържа бързо превключване между различни размери, като например 4/5/6/8 инча;

Система за транспортиране на мембранни материали: автоматично издърпване на фолиото, контрол на опъването, подходяща за често използвани консумативи като синьо фолио, UV фолио, пиролизно фолио и др.;

Гъвкав механизъм за свързване: антистатично компресиране с ролка/въздушна възглавница, линейно регулируемо налягане, постигане на свързване без мехурчета и надраскване;

Режещ и приемащ блок: автоматично рязане на фолио с кръгъл/пружинен нож, автоматично навиване на отпадъчно фолио и изолационна хартия, намалявайки ръчната намеса;

Система за управление и безопасност: настройка на параметри чрез сензорен екран, защита от светлинна завеса, аварийно спиране, в съответствие със спецификациите за безопасност SEMI.

3-Технически характеристики и основни предимства

Стабилна точност: Отклонението на фитинга е ≤± 0,5 мм, без мехурчета или бръчки, а добивът е значително по-висок от ръчната работа;

Гъвкава адаптация: поддържа силициеви, силициев карбид, галиев арсенид и други пластини, а предната/задната маска за лице може да бъде прикрепена;

Икономичност: Инвестицията в оборудване е само от една трета до една пета от тази на напълно автоматичните модели, с малък размер и лесна поддръжка;

Лесна работа: стартиране с едно щракване, предварително зададени параметри, ръчно управление, отговарящо само за товарене и разтоварване, намаляващо прага на уменията;

Съвместимост с чисти условия: Цялата машина е изработена от антистатични и нископрахоотделящи материали, подходящи за чисти помещения от клас 100/клас 1000.

4-Стандартен работен процес

Позициониране при зареждане: Поставете ръчно пластината върху вакуумната работна маса, адсорбирайте я и я фиксирайте;

Транспортиране на мембранен материал: Оборудването автоматично издърпва лепилното фолио, за да покрие пластината и металната рамка;

Компресионно свързване: Валякът/въздушната възглавница се натиска равномерно, за да освободи въздух, осигурявайки пълно сцепление между филма и пластината;

Прецизно рязане: автоматично рязане на филма по контура на пластината, запазвайки подходящите полета;

Рязане и валцоване на материала: Готовият продукт се изважда ръчно, а оборудването автоматично навива отпадъчното фолио и влиза в следващия цикъл.