The машина за монтиране на пластини е ключово оборудване в производството на полупроводници. Използва се за прецизно ламиниране на синьо/UV фолио върху изтънени пластини, осигурявайки опора и защита. Прилага се в сценарии като фиксиране на пластини, опора преди нарязване и временно свързване за 3D опаковки.

Принцип на работа

1. Процес: Роботизираното рамо използва вакуумно засмукване, за да вземе пластината и да я притисне в центъра на предварително опънатия филмов материал. Не трябва да има мехурчета и замърсяване с частици. В някои случаи е необходимо нагряване до 60-80°C, за да се подобри адхезията. Изискванията за точност са отместване ≤ ±50μm и диаметър на мехурчетата ≤1mm.

2. Ключови компоненти:

Устройство за засмукване на материал: Използват се антистатични силиконови вендузи, за да се осигури равномерно засмукване и да се предотвратят повреди.

Система за подравняване: Високопрецизно CCD визуално позициониране (достигащо ±5μm през 2025 г.).

Модул за контрол на температурата: Осигурява равномерност на нискотемпературното нагряване.

Ръководство за употреба:

1. Предварителна обработка: Пластината трябва да е без фрагменти и пукнатини. Височината на мастилената точка трябва да бъде < 25,4 μm, а дълбочината на изкопаната пластина трябва да бъде ≤ 10 μm.

2. Избор на материал за фолио: Обикновено се използва синьо фолио с адхезия 80-95μm. За ултратънки пластини се използва UV фолио с ниско напрежение. Съхранявайте фолиата съгласно разпоредбите.

3. Спецификации на работата: Пуснете машината без товар, за да калибрирате системата за подравняване. След ламиниране, оставете пластината да престои 5 минути преди прехвърляне.

4. Обработка на аномалии: За мехурчета, валцувайте ги с валяк без прах. В случай на отместване, почистете вендузите и калибрирайте CCD матрицата. Ако има постоянно отместване, проверете смазването на водещата релса.

Технологичен прогрес през 2025 г.

1. Съвместимост с различни размери: Предлагат се бързосменяеми палети, които поддържат смесено производство на 6/8/12-инчови пластини, което позволява ефективно превключване.

2. Интелигентно регулиране: Алгоритмите с изкуствен интелект оптимизират параметрите, постигайки добив от 99,7% и намалявайки ръчното отстраняване на грешки.

3. Адаптиране на UV филм: Добавен е нов модул за UV облъчване, който подпомага превключването на фоторазцепващи се филмови материали.

Поддръжка и безопасност

Редовно почиствайте оборудването, проверявайте вендузите и CCD лещите, калибрирайте модула за контрол на температурата и сменяйте уязвимите части своевременно.

Осигурете надеждно заземяване, избягвайте докосване на движещи се части и зони с висока температура, за да предотвратите токов удар, механични наранявания и изгаряния.